T：230×320　（真空チャック）
X-350　Y-215 Z-80　最小単位：0.00005mm
水冷式エアースピンドル　1000～10,000rpm　2.2Kw
カッターφ120　クリーンエアーユニット
クーラントクーラー　主軸冷却ユニット　顕微鏡
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