F-18iMB 0.0001mm　T:400×250
テーブル:Z-300 V-150 上下125　
砥石台： X-200 Y-150 上部旋回±15　
昇降台：0～80mm　30～600spm　
砥石 2,000～20,000rpm　φ65～100×4～6×φ22.23
スクリーン540×420mm　倍率：20・50倍

F-18iMB 0.0001mm　T:400×250
テーブル:Z-300 V-150 上下125　
砥石台： X-200 Y-150 上部旋回±15　
昇降台：0～80mm　30～600spm　
砥石 2,000～20,000rpm　φ65～100×4～6×φ22.23
スクリーン540×420mm　倍率：20・50倍

F-20FA T:400×250
テーブル:Z-250 V-135 上下160　
砥石台： X-150 Y-100 上部旋回±8　
昇降台：0～135mm　30～100spm　
砥石 1,000～4,000rpm　φ180×10×φ31.75
スクリーン500×500mm　倍率：20・50倍
プリセパレーター　予…